Bơm chân không cơ học khô có nhiều ứng dụng, chủ yếu trong các lĩnh vực sau:
Trong quy trình điều chế polysilicon trong hệ thống lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp (LPCVD);
Trong quá trình khắc chất bán dẫn. Các quy trình sản xuất này thường liên quan đến việc sử dụng hoặc tạo ra khí ăn mòn và các hạt mài mòn;
Trong một số quy trình-tạo ra hạt nhất định-bên ngoài ngành công nghiệp bán dẫn-nơi các hạt không được trộn lẫn với dầu bơm mà thay vào đó mong muốn chúng bị trục xuất khỏi máy bơm; có thể sử dụng các loại máy bơm chân không cơ học khô cụ thể để đáp ứng các yêu cầu này;
Trong các hoạt động chưng cất, sấy khô, khử khí và đóng gói trong ngành hóa chất, dược phẩm và thực phẩm, nơi cần ngăn ngừa ô nhiễm bởi dung môi hữu cơ, bơm chân không khô là lựa chọn phù hợp;
Là máy bơm trước{0}}(máy bơm thô) trong các hệ thống chân không sạch-không dầu nói chung, để ngăn ngừa ô nhiễm dầu.
